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 반도체장치재료협회 (Semiconductor Equipment and Materials International, 비강제인증, 협회규격) 반도체장치재료협회(이하 협회)는 반도체생산에 필요한 전공정 및 후공정장비가 환경 및 건강, 안전을 확보하는데 필요한 표준을 제시한다. SEMI 규격의 특징은 미국규정을 기본으로하여 반도체장비에 관련된 특수요구사항 및 국제 및 유럽규격을 두루 혼용하여 작성된 규격이라 흔히 Global Standards라고 이야기한다. 이에 따라 SEMI 인증(Report)진행은 다양한 규격에 대한 해박한 지식이 요구된다. SEMI는 인증이 아니며, Report라고 이야기하는데, 이것은 SEMI가 협회이며 인증이라는 공식적인 절차를 규정하지 않기 때문이며, 다만 SEMI는 반도체장비가 갖추어야할 표준사양(Standards)을 규정할 뿐이다. 이를 바탕으로 다국적 인증기관에서는 SEMI Standards Compliance Report라는 서비스를 자율적으로 시행하고 있으며, 이것이 일반인들에게는 인증처럼 여겨지기도 한다. 이러한 Report가 장비판매에 도움을 주는 것은 인정된 사실이다. 편의상 SEMI 인증이라고 호칭 한다. 
규격의 구성 및 내용  SEMI S2 0200- 미국규격(ANSI, American National Standards)을 기본으로 하여 국제규격도 적용 - 장비사용자의 입장에서 작성된 규격
SEMI S2 0200- OSHA, ANSI, NFPA and CFR Standards, IEC, ISO, EN("Global Standards) - EU Machinery Directive - SEMI S2-0200 - SEMI S8-1000 - NFPA 79 - EN 60204-1 - SEMI S1 - 시각 위험 정보를 위한 안전 규정 - SEMI S2 - 반도체 제조장비를 위한 환경, 건강 및 안전규정 - SEMI S3 - 가열된 화학액체 탱크를 위한 안전규정 - SEMI S6 - 환기안전 규정 - SEMI S7 - 반도체 제조장비의 환경, 건강 및 안전(EHS) 평가를 위한 안전규정 - SEMI S8 - 반도체 제조장비의 인간공학적 설계원칙 - SEMI S9 - 반도체 제조장비를 위한 전기안전시험 - SEMI S10 - 위험평가를 위한 안전규정 - SEMI S12 - 장비의 오염제거를 위한 규정 - SEMI S13 - 반도체 제조장비와 함께 사용하는 작동 및 관리 매뉴얼을 위한 안전규정 - SEMI F6 - 인터페이스 사양 규정 및 포맷 - SEMI F5 - 가스 상태의 방출물(effluent)취급을 위한 규정 - SEMI F14 - 가스 공급 장치(gas source equipment) 인클로저의 설계를 위한 규정
SEMI 인증시 필요서류- Maintenance Manual- Operation Manual - Mechanical, Electrical, Pneumatic Drawings - Commercial Item List - Seismic Design Data - MSDS(Material Safety Data Sheets) - Exhaust Ventilation test등 test 서류등
SEMI 인증절차- 규격 Seminar - 사전 도면 및 구조검토 및 변경(필요시) - SEMI Standard에 준한 설계 및 제작 - Technical Documentation 작성 - Test 장비에 대한 SEMI S2 - 0200 Standard에 준한 장비 Test - 인증기관의 Report 작성 - SEMI S2 Evaluation Report 발행
세이프티리서치에서는 반도체장비에 대한 SEMI 인증을 받을 수 있도록 컨설팅서비스를 제공합니다. |
